晶圓級金屬抑制劑

產品	說明
IC-206	為了避免晶圓或玻璃在製程過程中，接觸藥劑後發生金屬汙染現象，就必須嚴格控制藥劑的金屬離子含量，隨晶圓或玻璃等級的提高金屬離子含量控管日漸嚴格，由早期的ppb等級逐漸提高到ppt等級的控制。因為製程需求而必須一直嚴格降低藥劑金屬含量，是一個會消耗大量成本的解決辦法，再加上某些製程如廢晶圓回收重工或是玻璃原物料砂清洗等，勢必會讓表面的金屬溶解於藥劑當中，這時就完全沒有辦法要求藥劑金屬離子含量。 晶圓級金屬抑制劑IC-206主要目的就是開發來避免金屬離子在晶圓或玻璃上的回沾沉積，使用晶圓級金屬抑制劑後，可以不必特意要求藥劑內金屬離子含量，就能夠有效阻止金屬汙染於晶圓或石英等。